lí zǐ shù qīng xǐ

离子束清洗

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繁体離子束清洗

拼音 lí zǐ shù qīng xǐ

词语解释

离子束清洗（ion beam cleaning）把离子束抛光的原理应用于清洗晶片表面，称为离子束清洗。与其他清洗方法相比，离子束清洗具有无沾污、表面结构完整、无微坑等优点。